دورية أكاديمية

Specific contact resistivity reduction in amorphous IGZO thin-film transistors through a TiN/IGTO heterogeneous interlayer

التفاصيل البيبلوغرافية
العنوان: Specific contact resistivity reduction in amorphous IGZO thin-film transistors through a TiN/IGTO heterogeneous interlayer
المؤلفون: Jeong, Joo Hee, Seo, Seung Wan, Kim, Dongseon, Yoon, Seong Hun, Lee, Seung Hee, Kuh, Bong Jin, Kim, TaikyuAff3, IDs41598024618372_cor7, Jeong, Jae KyeongAff1, IDs41598024618372_cor8
المصدر: Scientific Reports. 14(1)
قاعدة البيانات: Springer Nature Journals
الوصف
تدمد:20452322
DOI:10.1038/s41598-024-61837-2