دورية أكاديمية
Compression and strong rarefaction in high power impulse magnetron sputtering discharges
العنوان: | Compression and strong rarefaction in high power impulse magnetron sputtering discharges |
---|---|
المساهمون: | Anders, Andre |
المصدر: | Journal of Applied Physics |
وصف الملف: | Medium: ED; Size: 15 |
URL الوصول: | http://www.osti.gov/scitech/servlets/purl/1001045 |
قاعدة البيانات: | SciTech Connect |
تدمد: | 00218979 |
---|---|
DOI: | 10.1063/1.3525986 |